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半导体靶材都有哪些 什么叫靶材电容触摸屏的靶材主要是什么

时间:2024-01-11 17:28:12来源:

半导体靶材都有哪些?

半导体靶材是用于物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)等制备薄膜工艺的关键材料。

以下是常见的半导体靶材类型:

1.硅(Si)靶材:

硅是最常见的半导体材料之一,用于生产晶体管、太阳能电池等。

2.氧化铝(Al2O3)靶材:

氧化铝常用于保护和加固半导体器件及其表面。

3.氮化硅(Si3N4)靶材:

氮化硅因其高热稳定性、耐久性和机械强度而被广泛应用于半导体制造领域。

4.氮化镓(GaN)靶材:

氮化镓被用于制造LED、LD等光电子器件。

5.氮化铝(AlN)靶材:

氮化铝具有高热稳定性、导热性和导电性,可用于制造高温、高频率的半导体器件。

6.氧化锌(ZnO)靶材:

氧化锌是一种重要的磁性材料,被广泛应用于荧光体、气敏传感器等领域。

7.碳化硅(SiC)靶材:

碳化硅具有高热稳定性、耐腐蚀性和机械强度,可用于制造高温、高压电器、电子元件等。

8.磷化铝(AlP)靶材:

磷化铝是一种具有优异光电性质和化学稳定性的半导体材料,应用于微波电子学、光电子器件等领域。

9.砷化镓(GaAs)靶材:

砷化镓是一种应用广泛的半导体材料,用于制造太阳能电池、LD、LED、光电传感器等。

10.磷化铟(InP)靶材:

磷化铟是一种半导体材料,具有高响应度、高移动性和低噪声等优异性能,被广泛应用于通讯、半导体光电子学等领域。

什么叫靶材?电容触摸屏的靶材主要是什么?

电容触摸屏用的镀膜基板是用磁控溅射工艺制造的。

在磁控溅射制程中用到的镀膜材料称为靶材。

用作电容触摸屏的靶材一般有:

InSn,Si,Ag,Al,Mo等

azo靶材和ito靶材有什么区别?

AZO靶材是一种铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜,而ITO靶材是氧化铟掺杂的锡透明导电薄膜。

它们的区别在于主要的元素成分和掺杂元素不同。

此外,两种材料的透过率、电阻率和制备工艺也有所不同。

AZO靶材在某些情况下可以替代ITO靶材,而且AZO靶材的生产成本相对较低,因此在某些应用领域上更具有竞争力。

靶材在半导体中的地位?

靶材在半导体中是属于上游材料

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